沈阳全力打造中国集成电路装备产业“芯”高地

(沈阳日报、沈报全媒体记者黄超)今年以来，沈阳集成电路(IC装备)产业喜报频传，继4月20日沈阳拓荆科技在上海证交所科创板发行上市之后，5月5日，沈阳富创精密设备有限公司科创板首发顺利过会。这标志着沈阳IC装备产业“上市军团”持续壮大，产业抱团发展形势良好。

作为国内IC装备产业的三大重点地区之一，沈阳IC装备产业经过多年发展，已初具规模和实力，集聚和培育出了一批优势骨干企业，在薄膜沉积、涂胶显影、湿法刻蚀、清洗机等整机装备和罗茨干泵、真空机械手等关键单元部件产品等方面形成了独具特色的产业配套体系和批量生产能力，产品种类覆盖沉积、光刻、刻蚀、封装多个工艺领域。

“十三五”期间，沈阳IC装备产业实现连续五年稳定快速增长，年均增长率达到10.1%。产业已经度过“孵化期”，进入快速产业化阶段，沈阳IC装备产业已经形成了“一项控制系统技术、八类重要整机装备、一批关键单元部件和一个精密零部件支撑平台”的配套体系和批量生产能力。

“相比其他城市，沈阳集成电路产业的链条比较完整。”市工信局相关负责人指出，沈阳IC装备产业链上游拥有富创、新松、中科仪、硅基、中科博微等企业，能够供应反应腔、真空干泵、机械手、控制软件、SOI材料等零部件和控制系统;产业链中游为整机装备制造商。拥有芯源微、拓荆、仪表院等企业，可以进行薄膜设备、涂胶显影机、划片机等IC整机制造和系统集成;产业链下游拥有中电科第47所和仪表院等企业，从事集成电路制造和封测。

经过多年培育，沈阳集成电路产业规模逐步壮大、产业类型日渐丰富。年初以来，受国际形势影响，国内半导体产业链迎来黄金发展期，国产替代市场空间巨大，行业景气度持续向好。沈阳集成电路装备企业积极把握市场机遇，持续加大研发投入、加大市场开拓力度，企业生产经营稳定向好。据市工信局统计，今年1-3月份，沈阳集成电路产业完成产值12亿元，同比增长48%，行业发展进入“快车道”。

当前，锁定“创新”和“产业”的沈阳，正在抢抓新一轮发展机遇，聚力创“芯”、聚势发展，加快集成电路产业延链补链强链，全力打造中国集成电路装备产业“芯”高地。

“发展集成电路装备产业投入虽大，但发展后劲足，产业先天具有韧性强等特点，将为正处于转型期的沈阳带来源源不断的新动能。”市工信局相关负责人表示，决胜“芯”时代，沈阳将不遗余力提供最专业的载体支撑、最完备的要素保障、最优质的营商环境，推动企业携手科研界深化合作、协同创新，共同“破冰”关键核心技术，携手开拓更多“针尖”领域，推动沈阳IC装备产业发展闯出一条强“芯”之路。