打破国外技术垄断 安徽为半导体材料穿上“保护衣”

作为全球科技发展的重要领域，半导体制造产业一直备受关注，其国产替代也成为一片创业热土。

近日，记者走进位于安徽中韩 (池州)国际合作半导体产业园的安徽高芯众科半导体有限公司，车间里熔射机械手正在操作平台上有序高效地运转，一块块硅制品零部件随之披上“保护衣”。

“这是公司自主研发的半导体精密涂层技术，精密特殊涂层可以使基材和晶圆等核心材料免受等离子的物理打击，提高产品良率，延长零部件使用寿命。”公司营业部部长刘洪刚介绍，“随着工艺不断精进，特殊涂层成为控制反应腔稳定的最重要因素，精密涂层业务也成为半导体及液晶面板行业不可或缺的工序之一。 ”

据了解，半导体产业链分工明确，以芯片为例，通常分为芯片设计、芯片制造、芯片封装等环节，高芯众科就是第二类即为制造型半导体厂商提供精密核心零部件、零部件特殊涂层(表面处理)等产品及提供真空腔体综合解决方案服务。 2021年，高芯众科二期工厂投产，拥有高端智能化产线9条，能同时为集成电路和面板行业头部企业提供产品和服务，当年产值达到8110万元。

如今，半导体及液晶面板相关的所有高端核心设备约90%来自国外，除购买设备的费用外，后续的设备运维均在国外进行。而高芯众科提供的电极新品制造和再生服务，可为国内液晶面板厂商节约不少生产成本。

“我们要打破国外技术垄断，做真正的国产替代。现在公司在液晶面板核心设备零部件下部电极和上部电极制造及再生技术领域已实现100%国产化。 ”刘洪刚说，高芯众科作为能够生产下部电极的国产替代公司，很早就投身于硅材料零部件的精密制造技术研发。目前，公司无需依赖进口就能提供12寸7纳米制程的芯片制造的硅制品零部件，并能大大缩减这一零部件的交付期限。

国外电极涂层的平均交付期为60天至80天，疫情影响下，由国外进口的电极涂层交付期更是延长到85天至120天，而高芯众科仅需30天至40天。

高芯众科能取得这样的成果，主要得益于公司团队深远的战略谋划。“我们一直专注于半导体真空腔体零部件制造、精密涂层研发，所以一些问题看得比较早，方向也看得更清楚些。 ”高芯众科董事长辛长林说。

组建人才队伍 加强技术研发和成果转化

2015年，高芯众科成立后开始对半导体真空腔体零部件制造、精密特殊涂层建立了三条产线进行研发、测试。经过5年在关键核心技术上全力攻坚，2020年，高芯众科开始将产线小批量推向市场，2021年逐步开始大批量生产。

高芯众科一直将技术研发和创新作为自身发展的生命线，公司的融资主要用于新品研发、市场拓展、新基地建设和国外研发中心建设等项目。“自主生产工艺要达到80%至90%，甚至达到100%才是真正的国产化，我们就是想要做真正的国产替代。 ”辛长林表示。截至去年年底，该公司已获得授权的发明专利2项，实用新型专利23项，已经受理的发明专利5项，今年已申请发明专利12项，实用新型专利25项。

除了大量的研发资金投入，人才更是关键“突破口”。高芯众科在公司成立前就非常重视研发团队建设，2014年由半导体行业资深人士组成的“先锋队”开始了半导体领域的市场调研和技术积累，公司发展前期也是先引进国外技术，再由公司内部组建的人才队伍进行研发、升级，在弄通“卡脖子”技术的基础理论和技术原理上再次创新。目前，高芯众科的核心技术研发团队已有30余人。

该公司技术总监崔炳日是引进人才，他告诉记者：“刚来这里时，面对陌生环境还不太能适应，好在公司帮我们解决了不少难题，不仅依据韩国人的生活习惯对我们悉心照顾，还开展日常活动帮助我们迅速融入，这样我们可以心无旁骛钻研技术。 ”

“人才公寓、资金资助……我们采取种种措施用来吸引人才，从某种意义上来说，留住人才才能把关键核心技术掌握在自己手中，从而实现更多 ‘从0到1’的突破。 ”公司技术部部长姜勇鹤说，“我们公司在技术开发上引进了很多外来优秀人才，他们不仅带来多年的工作经验，还成为了提升核心部件自主研制能力的生力军。 ”

2021年，半导体真空腔体零部件制造、再生行业快速发展。公司决定开展“利用高强度等离子液晶面板干刻设备电极涂层提高效率技术研发”的专项技术攻关，满足该领域对精密涂层技术的迫切需求。

“研发团队承担任务后，经过近一年的技术攻关，顺利完成三项技术创新，并在小试和中试中都获得成功，这些技术成果很快转化到生产中，提升了产品的良率，降低了生产成本，产品销售收入较2020年相比增长将近3倍。 ”姜勇鹤说。

优化产业生态 产业集聚激发企业活力

“2015年底我们一期项目仅用70天时间完成建厂并顺利投产。”说起与池州的结缘，辛长林颇有感慨，在政府各项利好政策的扶持下，几年来公司的产值已经翻了几番。目前，公司与京东方集团、维信诺、中芯国际等知名企业建立了良好的合作关系，与部分国外企业也是战略合作伙伴。

近年来，池州市委、市政府将半导体产业集聚发展基地建设作为“一号工程”“一把手工程”，致力推进营商环境改革和企业培育帮扶，促使一帮骨干企业快速成长壮大，半导体集群化发展态势明显。

“管委会对于入驻基地的半导体产业项目专门制定了相应的优惠政策，除享受中央、省、市出台的各项惠企政策和‘九通一平’基础设施配套服务外，所施行的标准化厂房租赁、企业公租房和半导体企业自行装修洁净厂房补贴政策，将有效降低中小企业落地成本，提升企业入驻率。”池州市经开区投资促进局工作人员介绍。

“池州市还成立半导体行业协会，发挥行业龙头作用，激发企业内生动力，带动产业链和产业生态建设。池州半导体协会全过程参与两轮半导体产业规划编制，制定适合我们发展的政策;整合行业内3个省级科创平台建设半导体产业协同创新中心，牵线园区在上海、北京、深圳等地设立‘创新飞地’，促进研发成果产业化;依托半导体协会，我们积极加入国家级、省级商协会，争取扩大范围嫁接资源、嵌入产业链供应链。 ”刘洪刚说。

“希望有更多的上下游企业入驻基地。企业抱团发展有很大优势，不仅能减少彼此间运输等成本，还能共享设备、订单、用工等资源，给我们带来更多机遇。 ”辛长林直言，在切身感受到良好的投资环境后，他经常主动跟朋友推介池州。在他的引荐下，已经有10多家企业来到半导体产业基地考察。

基地里，像高芯众科这样的高新技术企业不胜枚举。目前，池州市半导体行业集聚规上企业49家，初步形成从IC设计、晶圆制造、封装测试到材料装备、智慧应用的产业链条。

“现在客户很重视国内供货稳定的零部件企业。 ”辛长林明显感觉到，无论是政策走向还是投资人动向都将更多目光聚焦于半导体行业。“池州市坚持高位推动，不断加强半导体产业发展的顶层设计和统筹推进，半导体产业链越趋完整，我们在这里发展也更有信心! ”(记者 阮孟玥)