国内首条12英寸先进传感器研发中试线成功通线以国产设备为主

6月30日，据国家智能传感器创新中心官微消息，由国家智能传感器创新中心建设的国内首条12英寸先进传感器中试线成功通线。

该中试线以国产设备为主，具备晶圆键合、晶圆减薄、干湿法刻蚀、物理和化学气相沉积、原子层沉积、化学机械研磨、湿法清洗、自动化量测等先进传感器和晶圆级3D集成技术的核心工艺能力，同时为国产装备提供验证平台，加速先进传感器产业链国产化，实现自主可控。(记者石飞月)